曝光單元尺寸

指的是投影光刻機在矽片上單次曝光單元的尺寸。

基本介紹

• 中文名：曝光單元尺寸
• 外文名：shot size

通常是指積體電路晶片單元的有效圖形尺寸，它有可能被設計成小於或者大於分步重複步進的尺寸，光闌尺寸需要大於曝光單元尺寸。