晶圓盒

晶圓盒在半導體生產中主要起到放置和輸送晶圓的作用，為了簡化運輸和儘可能降低被污染的風險，晶片製造商利用晶圓盒來搬運和儲存晶圓。

基本介紹

• 中文名：晶圓盒
• 用途：放置和輸送晶圓的設備

晶圓盒內部有對稱的溝槽，尺寸嚴格統一用於支撐晶圓的兩邊，通常一個晶圓盒裝25片晶圓。晶圓盒一般採用耐溫，耐磨，防靜電添加的半透明塑膠材質，不同顏色的添加劑用於區分半導體生產中的金屬製程段。由於半導體的關鍵尺寸小，圖案密集，生產中的顆粒度要求非常嚴格，晶圓盒必須保證潔淨的環境，來連線到不同生產機台的微環境盒反應腔。