中文名稱 | 旋渦缺陷 |
英文名稱 | swirl defect |
定 義 | 無位錯單晶擇優腐蝕後肉眼可見的呈螺旋狀或同心圓狀為特徵的微缺陷。在放大150倍條件下觀察呈現不連續狀。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科) |
中文名稱 | 旋渦缺陷 |
英文名稱 | swirl defect |
定 義 | 無位錯單晶擇優腐蝕後肉眼可見的呈螺旋狀或同心圓狀為特徵的微缺陷。在放大150倍條件下觀察呈現不連續狀。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科) |