《新穎電調FBAR研究》是依託浙江大學，由董樹榮擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：新穎電調FBAR研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：董樹榮
- 項目類別：面上項目
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
薄膜體聲波諧振器（FBAR）在射頻電路中有著廣泛的套用。本項目提出研究融合了肖特基結和壓電堆的電調FBAR新器件。研究內容包括基於肖特基結與壓電諧振相互耦合機理、電調特性評估和模型建立、電調FBAR器件研製和驗證、電調濾波器技術。課題有望獲得無線通信所需的電調器件：電調範圍80-100MHz@2GHz，引入插損低於1dB，Q值保持1000以上，驅動電壓0-5V；目前，這種電調技術還未見他人報導，所述技術指標也是其他電調技術所無法達到的。通過本項目的實施，有助於研發出一系列新穎高性能的集成化的射頻電調器件和電路，對於推動單晶片集成高性能射頻無線收發機具有重要意義。
結題摘要
薄膜體聲波諧振器（FBAR）在射頻電路中有著廣泛的套用。本項目研究融合了肖特基結和壓電堆的電調FBAR新器件。研究內容包括電調FBAR的製備、基於肖特基結與壓電諧振相互耦合機理、電調特性評估和模型建立、電調FBAR器件研製和驗證、電調濾波器技術。課題提出了電調FBAR的兩種機理：本徵電調和肖特基電調，給出了他們的計算模型，在此基礎上最佳化了電調FBAR的器件結構，課題製備並獲得了具有良好性能的電調器件：電調範圍50-80MHz@2GHz，引入插損低於1dB，Q值保持1500以上，驅動電壓0-5V。課題還就電調FBAR濾波器、電調FBAR振盪器以及FBAR感測器等做了套用推廣研究，獲得了一些新的成果。通過本項目的實施，有助於研發出一系列新穎高性能的集成化的射頻電調器件和電路，對於推動單晶片集成高性能射頻無線收發機具有重要意義。
