《新型壓電薄膜及高靈敏聲波感測器研究及套用》是依託南京大學，由張淑儀擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：新型壓電薄膜及高靈敏聲波感測器研究及套用
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：張淑儀
- 依託單位：南京大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
由於微型器件的發展和套用，發展壓電薄膜和微型聲學器件引起很大重視，本項目主要從事兩方面工作：.I．研製新型壓電薄膜：製備高質量壓電薄膜是研製微型聲學器件非常關鍵的工作，本研究主要分幾個步驟：1.從材料科學角度設計新型薄膜組份，在已有的壓電材料中摻入不同元素以提高其性能；2.改進晶體結構，研製單晶壓電薄膜，使薄膜換能效率提高，且是損耗減小。.II．研製高靈敏聲波感測器：由於聲波感測器穩定度高、體積小、易於小批量生產和成本低而受到廣泛重視，但是檢測靈敏度還有待進一步改進和提高。主要研究以下內容：1.建立聲波在多層材料中傳播的理論模型，為具體設計和最佳化感測器提供理論指導和依據；2.設計和製作高頻、微型電聲換能器結構，有效激發和接收聲波能量，並使器件高效、小型化；3.選擇適當導波層和敏感層材料及最佳化沉積技術，以求達到高靈敏地反映被檢測物質對聲傳播的影響，提高靈敏度；4.開拓感測器在不同領域的套用。
結題摘要
本項目主要從事兩方面工作： I．研製新型壓電薄膜：1.研製納米柱薄膜，提高薄膜的聲學及感測性能；2. 改進薄膜晶體結構，使薄膜換能效率提高，且是損耗減小；3. 從材料科學角度設計新型薄膜組份，並在壓電薄膜材料中摻入不同元素以提高其性能。 II．研製高靈敏聲波感測器： 1. 選擇適當導波層和敏感層材料，並最佳化沉積技術，以求達到高靈敏地反映被檢測物質對聲傳播的影響，提高靈敏度；2. 研製不同模式的聲波感測器，開拓感測器在不同領域的套用；3. 建立聲波在多層材料中傳播的理論模型，為具體設計和最佳化表面聲波感測器提供理論指導和依據。
