擴展電阻法，是指通過測量金屬探針與半導體接觸形成的擴展電阻，根據已有的擴展電阻與電阻率的校正曲線，獲得半導體微區電阻率的電學測量技術。
| 中文名稱 | 擴展電阻法 |
| 英文名稱 | spreading resistance profile |
| 定 義 | 通過測量金屬探針與半導體接觸形成的擴展電阻，根據已有的擴展電阻與電阻率的校正曲線，獲得半導體微區電阻率的電學測量技術。此方法可用於測量半導體器件中載流子濃度的縱向分布等。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料性能測試（三級學科） |
擴展電阻法
