contact printing一種原始的複製工藝。將光學掩模版圖形面與待光刻區域光致抗蝕劑〔或感光乳膠)表面接觸而曝光。 ...
容易累積缺陷;上個世紀七十年代的工業水準,已經逐漸被接近式曝光方式所淘汰了,國產光刻機均為接觸式曝光,國產光刻機的開發機構無法提供工藝要求更高的非接觸式曝光...
接近式光刻,又稱非接觸式光刻。是一種使塗敷在從片上的光敏材料,經受穿過與其接近但不接觸的光學掩模版的光福照曝光,從而複印出光學掩模版圖形的方法。 在接近...
