掠射角沉積，GLAD（Glancing Angle Deposition）又可稱為 傾斜角沉積，是一種獲得專利的薄膜沉積的過程。
基本介紹
- 中文名：掠射角沉積
- 外文名：Glancing Angle Deposition
- 別名：傾斜角沉積
由Young 和 Kowal在1959年首次提出，M. Brett and K. Robbie在1998年首次製備成功。 主要原理是吸附原子擴散和核子的影蔽效應。可以製備出形貌可控的薄膜。
掠射角沉積
掠射角沉積
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