掃描電鏡飛行時間二次離子質譜聯用儀是一種用於化學、物理學、材料科學領域的分析儀器，於2018年10月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電鏡飛行時間二次離子質譜聯用儀
- 產地：捷克
- 學科領域：化學、物理學、材料科學
- 啟用日期：2018年10月15日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
電子槍最大束流：400nA/高真空解析度：0.7nm @ 15kV (SE)，1.2nm @ 1kV (BSE)，0.8nm @ 30kV (STEM)/離子槍最大束流：50nA/離子槍解析度：在SEM-FIB重合點位置上，優於2.5nm @ 30Kv。
主要功能
利用電子束在樣品表面掃描激發出各種物理信號，通過相應的檢測器來檢測這些信號，再將其轉換為視頻信號來調製圖像採集系統的亮度。由於信號的強度與樣品表面的形貌、成分有對應關係，在圖像採集系統上就相應獲得該面積樣品表面的形貌或成分的一副圖象。同時，利用電磁透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸離子柱，在離子柱頂端外加電場於離子源，使離子源形成細小尖端，再加上負電場牽引尖端的離子，從而導出離子束，然後通過靜電透鏡聚焦，經過一連串可變化孔徑可決定離子束的大小，最後通過八級偏轉裝置及物鏡將離子束聚焦在樣品上並掃描。離子束轟擊樣品是產生的離子則利用物理碰撞來實現切割或研磨。主要用於微區加工及分析。
