掃描電子顯微鏡法（scanning electron microscopy）是2015年公布的計量學名詞。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡法
- 外文名：scanning electron microscopy
- 所屬學科：計量學
- 公布時間：2015年
定義,出處,
定義
用聚焦的電子束轟擊樣品，以獲取次級電子、背散射電子、透射電子、樣品電流、束感生電流、特徵 X 射線、俄歇電子以及不同能量的光子的信號，採用其成像電子信號，特別是次級電子信號，來獲取物質表面形態的信息，幫助分析和觀察物質表面化學和物理性質的技術。
出處
《計量學名詞》第一版。
