掃描電子顯微鏡 EVO 18是一種用於地球科學、環境科學技術及資源科學技術學科領域的顯微鏡及圖象分析儀器，於2012年1月4日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡 EVO 18
- 產地：德國
- 學科領域：地球科學、環境科學技術及資源科學技術
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
解析度：3.0 nm @ 30 KV (SE 與W)、4.0 nm @ 30 KV (VP with BSD ) 加速電壓：0.2-30KV 放大倍數：5-1000000 x 探針電流：0.5PA-5μA X-射線分析工作距離：8.5mm 35度接收角 低真空壓力範圍：10-400Pa（選配10-750Pa、LS10:環掃模式10-3000pa） 工作室：365mm (Φ) x 275 mm (h) 5軸優中心自動樣品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T= -10°- 90° R=360°(l連續) 最大試樣高度：145mm 最大試樣直徑：250mm 系統控制：基於Windows 7 的SmartSEM 作業系統 存儲解析度為32,000 x 24,000 pixels。
主要功能
廣泛地套用於金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素麵掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑑定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。
