掃描電化學測試系統是一種用於物理學、化學、材料科學學科領域的電子光學儀器,於2016年3月14日啟用。
基本介紹
- 中文名:掃描電化學測試系統
- 外文名:Scanning Electrochemical Test System
- 學科領域:物理學、化學、材料科學
- 所屬類別: 分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1.微區掃描探針平台採用納米解析度、快速精確的閉環壓電陶瓷馬達控制X、Y、Z移位系統,直接驅動, 2.掃描範圍(X、Y、Z)不低於100mm×100mm×100mm , 3.線性位移識別解析度不低於50nm, 4.掃描解析度(X、Y、Z)分別都小於1nm 5.最大掃速不低於10mm