掃描式測試電子顯微鏡

掃描式測試電子顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2017年1月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描式測試電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2017年1月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

放大倍率:25~19000(LEI模態) 100~65000(SEI模態) ,可觀測範圍:x:0~70mm; y:0~50mm z::1.5~25mm。

主要功能

（1）EDX/Material analysis

（2）Cross Section。