感電子高分子

特點

指對電子束敏感的高分子材料，通常作為電子束抗蝕劑。在電子束作用下，聚合物發生降解或交聯，溶解性能發生變化，分別構成正性或負性電子束光刻膠。常見的正性感電子高分子有聚甲摹內烯酸醋、聚烯楓等二常見的負性感電子高分子包括環氧聚合物、聚乙烯肉桂酸酷類和有機矽聚合物等。由於電子束的能量一般較高。對電子束敏感的聚合物數量較多。