《微電子製造技術實驗教程》是 2015年7月科學出版社出版的圖書，作者是王姝婭、戴麗萍。
微電子製造技術實驗教程
電子信息材料與器件規劃教材
,王姝婭，戴麗萍 等
科學出版社 2015年7月出版
定價：29.00 語種：
標準書號：978-7-03-044494-3 裝幀：平裝
版本：101 開本：B5
責任編輯：成都辦事處 字數：200千字
讀者對象： 頁數：168
書類： 冊/包：
編輯部：成都辦事處
附註：
內容簡介
本教材《微電子製造技術實驗教材》是針對微電子相關專業的本科生的實驗動手能力培養而編寫的。本書涵蓋了所有微電子製造及集成的基礎知識和基礎實驗。包括矽片清洗、氧化、擴散、離子注入、光刻、濕法及乾法刻蝕、薄膜沉積、物理測試、化學測試等基礎知識和實驗，同時介紹了二級管、三極體、電阻器、CMOS管等器件製造的綜合性實驗。本書的重點在於培養學生的動手能力，注重實驗的操作
