微電子材料與器件製備技術

內容簡介

本書以微電子材料為對象，以材料和器件的製備工藝為主線，系統、全面地介紹了微電子材料與器件製備技術的前沿問題與進展。全書主要包括微電子材料的分類及性能、微電子器件中材料的選擇、不同微電子材料與器件的加工工藝以及微電子材料的性能測試技術等。

本書適合微電子材料與器件製備領域的工程技術人員、研發人員閱讀使用，也可作為高等院校材料科學與工程、電子科學與技術、化學工程、機械設計與製造等專業師生的教學用書。