《微電子器件用過渡金屬碳氮化物微米晶體的合成與控形》是依託清華大學，由李建保擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：微電子器件用過渡金屬碳氮化物微米晶體的合成與控形
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：李建保
- 項目類別：面上項目
- 批准號：59972014
- 申請代碼：E0201
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2000-01-01 至 2002-12-31
- 支持經費：14（萬元）
項目摘要
微型機電裝置急需高強度高導熱低電阻低擴散的材料作為其內部功能連線部件，過渡金屬碳氮化物具備上述性能而受到重視。本課題擬合成Nb、Ta及Ti的碳氮化物，並使其晶體生長成有實用價值的幾何外形和尺寸，形成規則的四方柱狀和圓針形微米單晶體。微米單晶體生長及外形控制技術，可用於大量生產微米單晶部件，對發展微型機電器件有重要意義。
