微腔體四極質譜管涉及對微波器件、陰極射線管(CRT)、場發射器件、光源等電真空器件進行殘餘氣體分析的四極質譜管，包括四極質量分析器，離子源，離子檢測器。
微腔體四極質譜管涉及對微波器件、陰極射線管(CRT)、場發射器件、光源等電真空器件進行殘餘氣體分析的四極質譜管，包括四極質量分析器，離子源，離子檢測器，其特徵是：採用陶瓷金屬化四極質量分析器(1)，其中，瓷管(1.2) 作為真空外殼，瓷管(1.2)內腔設有四極質量分析器的四根極桿(1.3)，在四極質量分析器(1)的兩端面也設有金屬化導電層(1.5)以避免電荷積累，金屬電極引針(1.6)從金屬化導電層(1.5)或四根極桿(1.3)內表面通過瓷管(1.2) 中的金屬化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔體外，四極質量分析器(1)的瓷管(1.2)與離子源(2)和離子檢測器(3)的真空腔體之間的連線為金屬- 陶瓷的真空密封連線。
