《微慣性器件的穩定性控制方法研究》是依託浙江大學，由車錄鋒擔任項目負責人的聯合基金項目。
基本介紹
- 中文名：微慣性器件的穩定性控制方法研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：車錄鋒
- 項目類別：聯合基金項目
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
航空航天等領域對微慣性感測器的穩定性有很高的要求，其穩定性問題是當前研究的熱點和難點之一。殘餘應力是影響微慣性感測器穩定性的關鍵因素，在該方面缺少深入系統性的研究。本項目以前期研製的全矽三明治結構電容式微加速度計為樣機，通過建立考慮敏感電容電極界面電荷狀態的感測器機電耦合模型及閉環反饋接口電路系統模型，研究矽片的攙雜特性(p型或n型)對其穩定性的影響；研究低應力矽矽鍵合工藝，降低鍵合引入的殘餘應力影響；結合可釋放應力的彈性梁錨點設計,研究感測器不同彈性梁結構、參數、釋放方法對應力大小的影響，給出低應力設計的基本準則。項目的研究將突破高穩定性微加速度計在設計、製造、封裝和檢測等方面的關鍵基礎技術，為其在慣性導航等領域套用打下深厚的基礎。
結題摘要
航空航天等領域對微慣性感測器的穩定性有很高的要求，其穩定性問題是當前研究的熱點和難點之一，殘餘應力是影響微慣性感測器穩定性的關鍵因素。本項目建立了微加速度計閉環反饋接口電路系統模型，分析了界面因素對閉環反饋穩定性的影響。微加速度感測器通過採用低應力雙面對稱摺疊彈性梁結構、低溫釋放工藝、低應力鍵合工藝、單矽片製作、最佳化真空封裝工藝參數等技術手段，降低了殘餘應力對感測器穩定性的影響。項目的開展突破了高穩定性微加速度計在設計、製造、封裝和檢測等方面的關鍵基礎技術，研製的加速度感測器模組量程2g,非線性-0.63%,頻寬200Hz，動態範圍120dB，溫度係數僅為0.11mg/C，零位穩定性（Allan方差）6.54ppm。發表論文3篇，其中SCI論文2篇，授權發明專利 3項，其中美國專利2項。培養博士研究生1名，碩士研究生2名。
