微小物體光學度量

《微小物體光學度量》是依託清華大學,由金觀昌擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:微小物體光學度量
  • 依託單位:清華大學
  • 項目負責人:金觀昌
  • 項目類別:面上項目
  • 負責人職稱:教授
  • 申請代碼:F0508
  • 研究期限:1999-01-01 至 2001-12-31
  • 批准號:69878014
  • 支持經費:13(萬元)
項目摘要
科學於生產的發展使研究對象和產品的尺寸越來越小,微小光學度量學是適應這些要求的新技術。它是生物醫學、半導體、光電子工業的重要工具。本研究採用雷射光纜投影,光學顯微放大,光電子與計算機圖象處理、相位測量技術等完成解析度10納米的三維形態測量,它具有比國外現有雷射掃描顯微測量更高的解析度、全場及快速測量以及形態測量的優點。

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