1892年,邁克耳孫用
邁克耳孫干涉儀將標準米的長度以鎘紅線的波長來表示,1960年國際計量局規定以Kr原子從2p到5d能級躍遷時輻射的光波波長作為長度的基準,這是套用光的干涉來測量和比較長度的正式開端。雷射的出現,提供了高亮度、相干性好的單色光源,大大改善了經典干涉儀的性能,並且促進了新的干涉儀的出現。干涉量度的範圍十分廣泛,精確度很高。例如可用來精密測量光的波長,測量微小的距離、厚度和角度,研究光譜線的
超精細結構,精密測定折射率及其變化,測量星體的直徑和雙星間的距離。利用全息干涉儀還可測知物體表面變化的信息,甚至可用來研究生物的生長過程。