真空泵的體積很小，所以稱為微型真空泵，是指具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，並且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。微型真空泵和微型氣泵都可以在成都新為科技上查閱相關的實驗數據。
原理,選型,套用範圍,
原理
微型真空泵的基本原理：電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。
正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用於氣體採樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了廣泛的套用。
選型
隨著儀器儀表工業的蓬勃發展，體積小巧、無油環保的微型真空泵、微型氣泵得到越來越廣泛的使用。如何才能在規格繁多的微型泵中選擇最恰當的產品呢？
首先要明確微型泵的用途。我們分三大類逐一討論。
一、如果只是用於氣體採樣，泵的抽、排氣端沒有阻尼元件，則可選用氣體採樣泵，SA系列，PM系列。
二、用於對密閉容器抽真空，泵的抽氣端會有大負載，則可選VM系列， VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列
三、如果用於氣體循環、增壓，泵的抽、排氣端均有大負載，則可選抽氣打氣兩用的FM系列、FAA系列、PCF系列。
還有一些和選型相關的問題羅列如下，根據使用情況考慮。
1.微型泵的介質溫度問題：根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。
2.微型泵的可靠性問題。
根據微型泵出故障後產生後果的嚴重性而定，完全根據自己的要求。優質品的平均無故障連續運行時間都大於1000小時，有的高到數千小時。特別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是最惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗製造商的技術實力，從產品外觀上可以看出一些，如採用特製電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知一二。
3.微型泵的電磁干擾問題。
如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。
套用範圍
科研，氣體採樣，儀器儀表，化工分析，醫療保健，醫藥衛生，生物工程，自動控制，環保，水處理等眾多領域。
