《微壓感測器靈敏度與過載阻抗協同及動態干擾解耦研究》是依託東北大學，由於忠亮擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：微壓感測器靈敏度與過載阻抗協同及動態干擾解耦研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：於忠亮
- 依託單位：東北大學
- 批准號：51605085
- 研究期限：2017-01-01 至 2019-12-31
- 申請代碼：E0512
- 支持經費：20（萬元）
- 負責人職稱：講師
中文摘要
微壓感測器在航空航天、先進軌道交通、生物醫學等製造業重點發展領域需求迫切。針對壓力感測器研發中存在的靈敏度與過載阻抗間的矛盾、壓力測量精度易受振動干擾影響的問題，本項目致力於微壓感測器靈敏度與過載阻抗協同及動態干擾解耦研究。首先，研究感測器敏感結構應力分布規律，探尋應力敏感區與過載所致高應力區分離方法，提出兼具高靈敏度與高過載阻抗的感測器敏感結構模型。同時，結合有限元循環計算與多元變數擬合算法建立結構最佳化模型。其次，構建感測器在動態干擾下的物理模型，闡明振動干擾對感測器敏感結構的作用機理，提出基於差動工作機制的動態干擾解耦方法。最後，完成感測器晶片的製作與測試，並驗證理論研究的合理性。本項目研究將為壓力感測器靈敏度與過載阻抗的顯著改善提供新思路，為動態干擾的主動抑制提供新方法，從而為研發製造業諸多重點領域用高性能微壓感測器奠定基礎。
