微型電子真空泵

定義

微型電子真空泵是採用壓電材料作動力裝置（完全拋棄電動機驅動模式），從控制到驅動徹底實現電子化，以電子集成系統完全控制氣體的交換與傳輸，從而實現氣體傳輸的可調性、精準性。與傳統的微型真空泵相比，第一動力系統的改革拋棄了電動機驅動模式極大的縮小了動力系統的體積，進一步實現其微型化；第二增加了可控系統，以積體電路為控制元件的電路板完全實現了系統的精準可調擺脫了人工調控，完全實現了自動與智慧型控制。