《微型構件機械物理性能研究》是依託清華大學，由葉雄英擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：微型構件機械物理性能研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：葉雄英
- 項目類別：青年科學基金項目
- 負責人職稱：教授
- 批准號：59305046
- 研究期限：1994-01-01 至 1996-12-31
- 申請代碼：E0509
- 支持經費：7（萬元）
項目摘要
研究了微型機械構件機械物理性能及其測試方法。提出了通過測量微梁的諧振頻率和微膜的載荷—變形特性獲取微型構件機械物理性能的兩種方法；製作了單晶矽、多晶矽、氧化矽、氮化矽等微梁、膜等測試構件；導出了具有壓縮殘餘內應力和初始撓度的方膜的載荷—變形關係；研製了諧振頻率法微構件機械物理性能測試系統。通過測量微梁的諧振頻率，分別求彈性模量和殘餘內應力，並通過測量懸臂樑反覆振動後諧振頻率和振幅的變化，評價疲勞特性；研製了載荷—撓度法微構件機理物理性能測試系統，該系統利用普通顯微鏡改造的顯微干涉測量系統測量微薄膜形變，通過薄膜載荷—撓度曲線求彈性模量和殘餘內應力；並對不同材料的微梁和微膜進行了測試分析。
