微加速度感測器及其設計原理和加工技術研究

《微加速度感測器及其設計原理和加工技術研究》是依託浙江大學，由王躍林擔任項目負責人的重點項目。

基本介紹

• 中文名：微加速度感測器及其設計原理和加工技術研究
• 依託單位：浙江大學
• 項目負責人：王躍林
• 項目類別：重點項目
• 批准號：69236022
• 申請代碼：F0404
• 研究期限：1993-01-01 至 1996-12-31
• 負責人職稱：副教授
• 支持經費：22（萬元）

項目摘要

對矽微機械加工技術的關鍵工藝：p-n結自停止腐蝕技術,p(--)自停止腐蝕技術、矽矽直接鍵合技術和矽玻璃靜電鍵合技術進行了探索，並已熟練掌握了這些技術和建立了相應的工藝規範，為我國MEMS的研究打下了很好的基礎，研製了矽一體化微加速度感測器、微機械諧振器及混合集成加速度感測器，經國際在線上檢索表明，矽一體化微機械諧振器未見有類似結構的報導，具有明顯的特色與創新，率先在國內研製出了諧振式微機械陀螺和靜電伺服加速度感測器，採用p(++)自停止腐蝕技術來製作雙環式微機械陀螺和玻璃—p(++)矽—矽結構來製作伺服加速度感測器，不僅未見報導，而且還具有工藝簡單易控，成本低等優點，為我國進一步開展這方面的研究提供了很好的基礎。