彈性發射加工(elastic emission machining,EEM)採用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋轉的聚氨酯小球帶動拋光液中粒度為幾十納米的磨料，以儘可能小的人射角衝擊工件表面，通過磨粒與工件之間的化學作用去除工件材料，工件表層無塑性變形，不產生晶格轉位等缺陷，對加工功能晶體材料極為有利。TSUWA等使用聚氨基甲酸酯球為工具，利用ZrO2 微粉對單晶矽進行彈性發射加工,表面粗糙度值達0.5nm。
彈性發射加工裝置如圖：
裝置示意圖
裝置示意圖1-十字彈簧;2-數控主軸箱;3--載荷支撐桿;4-聚氨酯球;5-工件;6-橡膠墊;7-數控工作檯;8-工作檯;9-懸浮液;10-容器;11-無級變速電動機
