人物經歷
教育部薄膜與微納加工技術重點實驗室主任。
國際英文專業期刊《納微快報》(Nano-Micro Letters)主編。
國際英文專業期刊《電氣與電子工程前沿》(Frontiers of Electrical and Electronic Engineering)編委。
1994年6月—1996年3月,擔任
蘭州大學化學系,電化學科學博士後。
1996年8月—1997年4月,訪問
日本科技廳無機材質研究所,擔任中心優秀
研究員。
1997年5月—1999年7月,訪問
香港城市大學金剛石和先進薄膜研究中心,擔任高級
研究員。
1999年8月—2001年11月,
日本科技廳無機材質研究所先端機能材料研究中心,高級科學家。
2001年12月—至今,
上海交通大學微納科學技術研究院,教育部第四批長江計畫特聘教授。
研究方向
以納米效應和納米電子學為理論基礎,以
納米材料製備與操控加工方法為技術基礎在電子科學技術領域創新研究。主要課題:低維納米電子材料、納米電子學、納米加工製造技術、納電子器件製造關鍵技術、納米感測器件、納電子器件和積體電路理論與套用。
注重與電子、化學、物理、信息領域相關知識的交叉融合,探討
納米電子材料結構和尺寸限制所表現出的各種納米效應、特性和新現象,利用一維和零維
納米材料以及納米操控加工技術與微
電子器件加工技術相結合,研究納米電子材料在納米電子器件、NEMS和
納米製造領域的重要套用技術。研究具有
高速度、高密度、低功耗、單電子傳輸或彈道傳輸等特點的高性能納米尺度結構的
電子器件,研製超高性能的光、電、環境、能源領域新型納米器件與系統。
主要貢獻
1、發現了無催化劑的氧化物輔助氣相蒸發法大量製備矽和鍺等單晶納米線的方法,提出了在納米空間範圍內通過相分離、擴散
和晶化過程的單晶納米線生成機理,為許多種單晶納米線材料的氧化物輔助氣相蒸發法大量製備提供了生長機理理論模型。
2、建立了關於DLC//金剛石//石墨生成過程的化學氣相表面反應條件和生長理論機制,理論上解釋了化學氣相條件下金剛石的生長表面形態、生長條件和生長速率。
3、創立了以相轉移幾率為基礎的金剛石生長機理理論,建立了統計物理學方法研究金剛石生成條件的溫度-壓強圖。
4、發明了基於超高頻聲波作用的納米焊接技術,實現了
納米材料與巨觀結構的牢固焊接加工。
5、首創了多溝道碳納米管場效應器件和非對稱肖特基勢壘碳納米管光伏電池。
以第一作者或通訊作者在國際頂級SCI刊物《微觀世界》(Small)、《套用物理快報》(Appl. Phys. Lett.)、《物理綜述快報》(Physical Review Letters)、《碳》(Carbon)、《納米技術》。(Nanotechnology)、《電子器件快報》(IEEE Electronic Device Letters.)、《材料研究雜誌》(Journal of Materials Research)等上發表學術論文280多篇,被他人引用2000餘次,其中單篇最高引用280餘次。
曾獲1998年單篇論文被SCI引用次數全國個人排名第七名證書。
2010年國家百篇優秀博士論文導師。
曾作為中國高科技中心成員[CCAST(世界實驗室)]、美國通用電器公司(GE)特聘講座學者、義大利
理論物理研究所訪問學者、
美國材料學會會員等在電子材料與器件國際學術領域進行過講學與合作研究。
應邀在國際學術會議上做大會報告或邀請報告20餘次,出任國際學術會議分會主持人10餘次。受邀擔任國際英文專業期刊《Nano-Micro Letters》主編和《Frontiers of Electrical and Electronic Engineering》期刊編委,中國電子學會半導體與集成技術分會委員。
在SCI刊物上發表學術論文280多篇,被引用3000餘次,其中多篇被選為封面論文,H因子(H-index)高達15.8。發表IC製造技術領域的國內第一本著作:
半導體積體電路製造技術,2006年6月高等教育出版社,ISBN:7-04-018299-8,字數47萬字。2010年6月出版專著:薄膜體聲波諧振器的原理、設計與套用,
上海交通大學出版社,中,21萬字。
受特邀撰寫了英文學術專著:Nanowelded Carbon Nanotubes: From Field-Effect Transistors to Solar Microcells,Springer-Verlag(ISBN10: 3642014984)和國際材料大百科全書的一個章節"Diamond Crystals, Growth of ", Encyclopedia of Materials: Science and Technology, Elsevier Science,Chapter 6.5.20 ,2113-2118 (2004)。
已獲授權國際發明專利2項,中國發明專利28項,年產生經濟效益數千萬元。
承擔和完成973、863、國家自然科學金重點項目等十幾項科研項目。
獲獎記錄
“疊層電池的研究”榮獲1994年國家教委科技進步三等獎。
“化學液相中直接合成平行取向碳納米管陣列的研究”榮獲2001年
日本表面技術協會論文賞。
“氧化物輔助合成一維半導體
納米材料及套用”榮獲2005年國家自然科學二等獎。
“有序功能納米薄膜結構的製備與套用研究”榮獲2007年中國教育部自然科學獎二等獎。