基本介紹
簡介
從1970年開始主要從事離子束設備及其套用研究。參與研製成功“80Kev離子注入機”和“1Z—170型離子注入機”，分別榮獲冶金工業部的嘉獎和遼寧省重大科技成果獎，並且套用於研製成功半導體高頻低噪音電晶體、MOS、CMOS積體電路和PIN探測器等元器件。主持研製成功國內首創的“DWY—84A型離子注入與離子束混合兩用機”，榮獲瀋陽市科技進步二等獎和冶金部科技進步三等獎，並且套用於金屬工模具、玻璃、陶瓷、聚合物和植物種子的表面改性研究，發表了“低摩擦耐磨材料的探索”、“離子注入與離子束混合兩用機”等論文及報告數十篇。退休後，又在廣東創建了《中山市離子束材料改性加工中心》，採用自己最新研製成功的靶室容積為φ1×3m的國內第一台工農業用大型多束多功能離子束機，推廣離子注入、離子束混合、離子束濺射、離子束輔助鍍膜（束增強沉積）或離子束沉積等新工藝的大規模開發套用，並且實施自己的“金剛石表面離子束改性”專利，取得了極好的效果。在’99澳門“第三屆”世界發明博覽會暨國際榮譽評審會上，“大型多功能離子束機”和“金剛石表面離子束改性”項目，分別榮獲“國際金獎”和“國際特別金獎”。當前亟待開發金剛石薄膜、立方氨化硼薄膜和高效冷凝器等新材料、新工具、新產品的套用。
