平面等傾干涉儀

平面等傾干涉儀

平面等傾干涉儀是採用等傾干涉原理，主要用於平面度量值傳遞中的一種高精度測量儀器。用於檢定尺寸較大的平晶（一般直徑大於100mm,小於300mm）、各種尺寸的長平晶和標準平尺（研磨平尺）的平面度。