平板式電極結構，用於PECVD系統，本實用新型提高非晶矽基薄膜材料生長速率及均勻性，減少由電漿產生的矽聚合物對系統的污染，並可獲得較好的物理及電學參數。
基本介紹
- 中文名：平板式電極結構
- 用於：PECVD系統
- 包括：：上極板 下極板
- 類型：一種結構
包括：一上極板，帶有加熱器，基片放置於上極板；一下極板，設有上層孔板、下層孔板，其中所述的上層孔板、下層孔板之間為上層混氣室，下層孔板之下為下層混氣室；下層混氣室下部另設有電極接入端子，電源通過分配器採用這些電極接入端子引入；一進氣口，連線於下極板的下端，由上而下依次為一絕緣陶瓷層和一金屬層。
