干涉光強度對準

干涉光強度對準是一種對準精度高、穿透性強的對準方法。

基本介紹

• 中文名：干涉光強度對準

D.C. Flanders等人將衍射光干涉強度信息用於X射線光刻的對準，從而誕生了基於干涉光強度的對準方法。該類方法原理可以描述為，當光束透過掩模標記，通過矽片標記上的反射光柵衍射後，再次經過掩模上的標記光柵衍射，將形成一系列平行且對稱的衍射級組、0級組、±l級組等。然後分別接收對稱衍射級組的干涉光，將對稱的衍射組干涉光強之差轉化為對準信號。只有在掩模矽片上周期相同的兩標記光柵完全對準時，兩個對稱級次的光強才相等。

這種方法的對準精度較高，能達到幾十納米精度量級，其中採用光柵的“周期/對準精度”特性分別為：25μm/約200nm、10μm/小於100nm和1.2μm/約20nm。