層間介質

層間介質,器件中不同的金屬層之間的電絕緣層。充當兩層導電金屬或者相鄰金屬線條之間的隔離膜。通常採用介電常數為3.9~4.0的二氧化矽材料。矽上有源器件和第一層金屬層之間的電絕緣層,稱“第一層層間介質”或“金屬前絕緣層”。

基本介紹

  • 中文名:層間介質
  • 定義:器件中不同的金屬層之間的電絕緣層

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