小平面效應

小平面效應即是在小平面區雜質濃度與非小平面區有很大 差異,這種雜質在小平面區域中分布異常的現象。

中文名稱	小平面效應
英文名稱	facet effect
定　　義	在強制生長系統中彎曲的生長界面上出現的平坦並沿晶體縱向形成管道狀的雜質富集區域。該區域內雜質分布非常均勻，其濃度與非小平面區域差異很大。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），總論（三級學科）

基本介紹

• 中文名：小平面效應

概念

晶體生長的固液界面，由於受坩堝中熔體等溫線的限制，常常是彎曲的。如果在晶體生長時迅速提起晶體，則在<111>鍺、矽單晶的固液界面會出現一小片平整的平面，它是(111)原子密排面，稱之為小平面。在小平面區雜質濃度與非小平面區有很大差異，這種雜質在小平面區域中分布異常的現象叫小平面效應。