小尺寸螺紋測量雷射顯微系統

小尺寸螺紋測量雷射顯微系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，於2019年12月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：小尺寸螺紋測量雷射顯微系統
• 產地：日本
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2019年12月23日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 測量顯微鏡

技術指標

水平圖像解析度≤120nm，測量重複精度≤20nm，測量準確性在測量值±2%以內。XY方向測量範圍≥70mm。

主要功能

開展小尺寸螺紋及相關儀器與產品的2D、3D圖像觀察，並能通過圖像測量長度、高度、角度、面積、體積、粗糙度等。