導靜電鑷子可在250℃下長期使用,在高溫下能保持較高的強度,尺寸穩定性較好,線脹係數較小,非常接近於金屬鋁材料;B.導靜電鑷子具有突出的摩擦學特性,耐滑動磨損和微動磨損性能優異,尤其是能在250℃下保持高的耐磨性和低的摩擦係數,因此,夾取晶圓,矽片的時候,不會對晶圓,矽片的表面產生劃痕,不會因摩擦而對晶圓,矽片產生殘留物,從而提高了晶圓,矽片的表面潔淨度。
基本介紹
- 中文名:導靜電鑷子
- 第一種材料:聚醚醚酮
- 簡稱:PEEK
- 特點:耐高溫,耐磨損性
導靜電鑷子可在250℃下長期使用,在高溫下能保持較高的強度,尺寸穩定性較好,線脹係數較小,非常接近於金屬鋁材料;B.導靜電鑷子具有突出的摩擦學特性,耐滑動磨損和微動磨損性能優異,尤其是能在250℃下保持高的耐磨性和低的摩擦係數,因此,夾取晶圓,矽片的時候,不會對晶圓,矽片的表面產生劃痕,不會因摩擦而對晶圓,矽片產生殘留物,從而提高了晶圓,矽片的表面潔淨度。
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