寬深比(積體電路製造中的深寬比)

在積體電路製造中，深寬比指的是在光刻工藝中所形成的圖形（包括光刻膠圖形或者基片刻蝕後的圖形）剖面形貌的一種描述。

基本介紹

• 中文名：深寬比
• 外文名：aspect ratio

對於條形的光刻膠圖形來說，深寬比通常指光致抗試劑（光刻膠）的圖形高度與寬度之比，稱為高寬比；對於基片通過刻蝕工藝形成的間隙圖形來說，通常指間隙圖形的深度與其寬度比值，稱為深寬比。