定量外差鎖相成像技術的半導體載流子壽命成像

定量外差鎖相成像技術的半導體載流子壽命成像

《定量外差鎖相成像技術的半導體載流子壽命成像》是依託電子科技大學,由孫啟明擔任醒目負責人的青年科學基金項目。

基本介紹

  • 中文名:定量外差鎖相成像技術的半導體載流子壽命成像
  • 依託單位:電子科技大學
  • 項目類別:青年科學基金項目
  • 項目負責人:孫啟明
項目摘要,結題摘要,

項目摘要

載流子壽命是表征半導體材料和器件性能的核心參數。從理論上區分不同的載流子壽命類型(等效壽命、表面複合壽命、自由激子壽命、束縛態激子壽命等等),並從實驗上予以測量和成像,有助於分析雜質能級、界面狀態、缺陷密度等關鍵因素,可實現對新結構、新工藝、新器件性能的全面評估和最佳化。外差鎖相載流子成像技術於2013年提出,突破了近紅外CCD幀率和曝光時間的限制,實現了高頻鎖相成像,為分辨不同的載流子壽命分布提供了可能。本項目擬將該技術從定性、半定量進一步發展成為全光無損定量成像技術:擬研究外差信號產生的非線性混頻物理機制;擬研究多個載流子壽命的頻域反演理論與方法;擬從載流子輻射複合外差理論模型的基函式空間結構出發,研究逆問題的唯一性,從而確定多參數反演測量的靈敏度和精確度。本項目不僅有望為微電子、光電子、感測器、光伏能源等電子信息領域的創新研究服務,而且有望為其它無損動態成像檢測技術的研究提供參考。

結題摘要

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