《大範圍實用型二維納米定位控制及測量技術》是依託天津大學，由趙美蓉擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：大範圍實用型二維納米定位控制及測量技術
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：趙美蓉
- 依託單位：天津大學
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0511
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 批准號：50105016
- 支持經費：22（萬元）
項目摘要
研究大範圍、高解析度、高精度集驅動、測量、控制於一體的實用二維納米測量技術。由馬達驅動二維工作檯運動，由干涉儀測量工作檯位移並反饋控制馬達運動。內容包括光學倍頻耦合差動雷射干涉技術、推拉式大範圍微位移連續驅動技術、高精度信號處理和控制技術、誤差修正技術、結構最佳化設計及抗干擾研究。實現了直接溯源的大範圍、實用化納米測量。
