多通道石英晶體監測儀採用了rs-232接口和windows?視窗軟體，可以通過電腦上進行調試安裝。在大型系統中，感測器輸入可以分配給不同材料，採集的數據通過平均值，以達到更精確的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長感測器的使用壽命，速率採集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。sqm160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。
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多通道石英晶體監測儀的特點
1、rs-232 接口, usb 或乙太網可選 2、雙通道（標準型），四通道可選 3、高精度: 0.03hz at 10個讀數/s 4、沉積速率/膜層厚度模擬輸出
多通道石英晶體監測儀的參數
qcm感測器輸入：標準型: 2;路 可選: 4路 頻率範圍 ：1-10 mhz 頻率解析度：標準型: ± 0.12 hz@ 4 readings/sec、 可選: ± 0.03 hz @ 10 readings/sec 頻率穩定性：在 0? to 50?c，總計± 2 ppm 可選擇的測量周期：0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec) 測量選擇 ：1 to 20 readings 存儲膜系：99 模擬輸出：2路0 to 10 vdc輸出, 沉積速率 & 膜厚 數字輸入/輸出： 2 路數字輸入, 4路繼電輸出 數字接口：標準型: rs-232 、 可選: usb or 乙太網 電源：0-120/200-240 vac, 50/60 hz, 20 w ce 標識：class 1 equipment、 73/72/ee c lvd, 89/336/eec ecd 安裝支架： 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") 重量： 2.7 kg (6 lbs) windows軟體(included)：提供遠程安裝和操作指導，數據錄入功能
多通道石英晶體監測儀的使用方法
開啟速率和膜厚測量，只需先按住zero鍵以清除上次讀數，然後關閉，打開源和感測器檔板。寬大明亮的led顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過xtal life鍵來查看晶片的剩餘使用壽命。雙選單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設定。首先，選“program”鍵，進入選單，然後，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示選單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。
