《多晶金屬納米薄膜熱導率和電導率的研究》是依託清華大學，由張興擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：多晶金屬納米薄膜熱導率和電導率的研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：張興
- 項目類別：面上項目
- 批准號：50676046
- 申請代碼：E0603
- 負責人職稱：教授
- 支持經費：2007-01-01 至 2009-12-31
- 研究期限：30（萬元）
項目摘要
金屬納米薄膜導熱和導電性能的研究是微電子和光電子工業發展中的關鍵課題之一，開展相關研究具有重要的科學意義和實用價值。本項目將採用電子束－物理氣相沉積法（EB-PVD）製備金、鉑、鈷、鉻和鈦等金屬材料的懸浮納米薄膜，用一維穩態通電加熱法同時測量不同厚度的納米薄膜在不同溫度條件下的面向熱導率和電導率，並利用X射線衍射分析儀和透射電子顯微鏡測量薄膜平均晶粒尺寸和微觀組織結構，研究多晶金屬納米薄膜熱導率和電導率的尺寸效應和晶界效應，探討熱導率、電導率與其內部微觀組織結構之間的內在聯繫。基於量子力學第一性原理和玻爾茲曼輸運方程對受限空間內以自由電子為載體的電荷輸運和能量輸運的微觀物理機制進行理論分析與數值模擬，建立適用於多晶金屬納米薄膜導電和導熱性質的分析模型，為實際套用提供科學依據。
