《多晶矽陷光微結構離子泡加工理論和方法研究》是依託杭州電子科技大學，由吳立群擔任項目負責人的專項基金項目。
基本介紹
- 中文名：多晶矽陷光微結構離子泡加工理論和方法研究
- 項目類別：專項基金項目
- 項目負責人：吳立群
- 依託單位：杭州電子科技大學
- 批准號：51050001
- 申請代碼：E0509
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2011-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：10（萬元）
項目摘要
太陽能利用是解決人類面臨能源環境危機的最佳途徑之一。光電轉化效率低是制約其發展的瓶頸，而多晶矽由於資源優勢，具有廣闊套用前景。通過酸腐蝕法加工的多晶矽陷光絨面微結構具有成本低特點，但存在自催化性、過程不可控和微結構形態簡單等問題。本項目在酸腐蝕法基礎上，以多晶矽仿生陷光絨面微結構的柔性加工機理為研究對象，引入中間作用場和徑向超音波，複合作用催生高溫高壓帶電離子泡，激發離子泡場化學腐蝕效應，建立新的材料去除機理；提出套用徑向超音波疏密振動方式動態地控制離子泡運動過程，建立新的控制方式。研究內容包括，（1）徑向超音波和強電場集成裝置研製，（2）波形態與離子濃度分布、運動規律研究，（3）離子泡形成條件與場化學作用機理研究，（4）微結構特徵生成機制與規律研究。通過疏密波形態變化和電場頻率參數調製等手段，建立離子泡柔性加工新原理和規律，提高酸腐蝕法加工可控性、穩定性和靈活性；提高多晶矽光伏電池光電轉化效率。
