《多晶矽微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究》是清華大學丁建寧發表的論文，由溫詩鑄指導。
副題名
外文題名
Studies on mechanical behaviors of microfabricated polysilicon thin films and sticking problem in MEMS
論文作者
丁建寧著
導師
溫詩鑄院士指導
學科專業
機械設計與理論
學位級別
d 2001n
學位授予單位
清華大學
學位授予時間
2001
關鍵字
微機械 多晶矽 微型機械
館藏號
TH122
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002678601
館藏目錄
2002\TH122\97
