《多層膜集成結構體聲波諧振器（英文版）》是2013年2月由上海交通大學出版社出版的圖書，作者是張亞非、陳達。
基本介紹
- 書名：多層膜集成結構體聲波諧振器（英文版）
- 作者：張亞非、陳達
- ISBN：978-7-313-08736-2
- 頁數：160
- 定價：￥68.00
- 出版社：上海交通大學出版社
- 出版時間：2013-02-18
- 開本：16開
- 字數：214000
內容提要,目錄,
內容提要
本書系統地闡述了薄膜體聲波諧振器的基本原理、設計方法、關鍵技術及其材料體系的要求，並對薄膜體聲波諧振器的重要套用技術進行了總結概括與深入分析。
目錄
Chapter 1 Introduction
Chapter 2 Propagation of Acoustic Wave in Crystals
Chapter 3 The Theory of FBAR
Chapter 4 The Deposition and Etching of AIN Film
Chapter 5 The FBAR with Membrane Structure
Chapter 6 Solidly Mounted Acoustic Resonator
Chapter 7 The Applications of FBAR in RF Filters
Chapter 8 The FBAR Excited by Lateral Filed
Chapter 9 High Sensitive Sensors Based on FBAR
Index
Chapter 2 Propagation of Acoustic Wave in Crystals
Chapter 3 The Theory of FBAR
Chapter 4 The Deposition and Etching of AIN Film
Chapter 5 The FBAR with Membrane Structure
Chapter 6 Solidly Mounted Acoustic Resonator
Chapter 7 The Applications of FBAR in RF Filters
Chapter 8 The FBAR Excited by Lateral Filed
Chapter 9 High Sensitive Sensors Based on FBAR
Index
