《外延薄膜生長過程的力學表征和連續相場模擬》是依託天津大學，由馮露擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：外延薄膜生長過程的力學表征和連續相場模擬
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：馮露
- 依託單位：天津大學
- 批准號：10402022
- 申請代碼：A0804
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：21（萬元）
項目摘要
外延技術在當代半導體製造工藝中占有核心地位。無論是設計計算機心臟的超大規模積體電路，還是現代通信技術中不可缺少的光電子器件，其核心結構都涉及一層或多層薄膜材料，必須依靠外延技術來製備，這涉及到薄膜的生長過程。本項研究意在揭示薄膜生長過程中與動態界面相關聯的諸如原子擴散、界面運動、薄膜生長中的島的生長等非平衡過程中遇到的各種現象的物理內涵。從力學、材料學和凝聚態物理角度出發，在非平衡態熱力學耗散結構和動力學框架下，研究變形、原子傳輸、擴散、長大的相互作用。從普遍適用的基本定律出發，推導適合描述薄膜生長過程的本構模型，補充實驗不能直接測量的東西。採用金茲堡朗道相場法對薄膜生長過程進行數值模擬，揭示薄膜界面結構的演化過程，從而探索由薄膜的不同生長過程產生薄膜特定的表面結構。通過理論和數值方面的研究成果輔以實驗驗證，可實現根據薄膜生長過程來預報薄膜的表面結構特徵，達到預報材料使用效能的目的。
