壓電/電致伸縮設備

一種能夠有效防止薄壁隔板部的振動衰減，保持高位移(振幅) 且回響性好、可進行高精度(高解析度、靈敏性)檢測的壓電/電致伸縮設備。其具有框狀的厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)，通過由厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)形成與外部連通的空腔(13)的陶瓷基體(1)；和具有包含下部電極(21)、壓電/電致伸縮膜(22)及上部電極(23)的層結構的壓電/電致伸縮器件(2)來構成，另外，使薄壁隔板部(12)外側呈凸出的弧狀，並且使所述壓電/電致伸縮器件(2)在其內部殘留有與和薄壁隔板部(12)的固定面平行的拉應力F。