場區

在微電子學中，場區是指一種很厚的氧化層，位於晶片上不做電晶體、電極接觸的區域，可以起到隔離電晶體的作用。

基本介紹

• 中文名：場區
• 位於：不做電晶體、電極接觸的區域
• 描述：一種很厚的氧化層
• 作用：隔離電晶體

在微電子學中，場區是指一種很厚的氧化層，位於晶片上不做電晶體、電極接觸的區域，可以起到隔離電晶體的作用。

有源區和場區是互補的，電晶體做在有源區處，金屬和多晶矽連線多做在場區上。

CMOS工藝中的場區（即電晶體以外的區域）需要較厚的氧化層，目的是提高場開啟電壓，使其高於工作電壓，形成良好的隔離；同時減小金屬層或多晶矽與矽襯底之間的寄生電容。但僅靠增加場氧的厚度仍不能滿足對場開啟的要求（即滿足場在器件正常工作時不可能開啟的要求），還要對場區進行注入，增加場區的摻雜濃度，阻止溝道的生成，進一步提高開啟電壓。