《基於MEMS技術的熱梯度器件研究》是2019年石油工業出版社出版的圖書，作者是聶金泉。
基本介紹
- 書名：基於MEMS技術的熱梯度器件研究
- 作者：聶金泉
- 出版社：石油工業出版社
- 出版時間：2019年4月1日
- 頁數：192 頁
- 裝幀：平裝
- ISBN：9787517072997
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《基於MEMS技術的熱梯度器件研究》提出了一種基於MEMS技術的熱梯度器件，設計了一種新型梯度加熱器，通過理論分析和數值模擬對器件的溫度性能進行最佳化，並完成溫度性能測試。
《基於MEMS技術的熱梯度器件研究》可供相關專業領域研究人員參考閱讀，也可作為相關學院研究生以上師生的參考資料。
圖書目錄
第1章 緒論
1．1 MEMS技術
1．1．1 MEMS的概念
1．1．2 MEMS的製造工藝
1．1．3 MEMS的本質特徵
1．1．4 MEMS的套用
1．2 微流控晶片
1．2．1 微流控晶片的概念
1．2．2 微流控晶片的套用
1．3 微流控晶片的研究現狀
1．3．1 微流控晶片的襯底材料和加工技術
1．3．2 微流控晶片的加熱和冷卻技術
1．3．3 溫度梯度與熱梯度晶片
1．4 研究內容和結構
1．4．1 研究內容
1．4．2 結構
第2章 熱梯度器件的設計
2．1 熱梯度器件材料的選擇
2．1．1 微通道晶片的材料
2．1．2 微加熱晶片的材料
2．2 熱梯度器件的結構設計
2．2．1 熱梯度器件的總體結構
2．2．2 溫度梯度的非線性
2．2．3 微通道的設計
2．2．4 梯度加熱器的功率分析
2．2．5 溫度感測器結構設計
2．3 本章小結
第3章 溫度特性的數值模擬與最佳化
3．1 ANSYS熱分析與建模
3．1．1 熱分析基礎
3．1．2 穩態熱分析
3．1．3 非線性熱分析
3．1．4 邊界與初始條件
3．1．5 熱分析基本過程
3．1．6 建模與施載入荷
3．2 溫度梯度的最佳化
3．2．1 鋁薄膜尺寸對溫度梯度的影響
3．2．2 鋁薄膜尺寸對功耗的影響
3．2．3 鋁薄膜尺寸最佳化
3．3 梯度加熱器的最佳化
3．3．1 熱功率與溫度的關係
3．3．2 微加熱晶片的電阻設計
……
第4章 熱梯度器件的加工與製作
第5章 溫度控制系統
第6章 溫度性能測試
第7章 結論與展望
參考文獻
