基於MEMS技術的微全分析系統晶片的研究

基於MEMS技術的微全分析系統晶片的研究

《基於MEMS技術的微全分析系統晶片的研究》是依託大連理工大學,由閆衛平擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:基於MEMS技術的微全分析系統晶片的研究
  • 依託單位:大連理工大學
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:閆衛平
  • 批准號:60174034
  • 申請代碼:F0303
  • 研究期限:2002-01-01 至 2004-12-31
  • 負責人職稱:教授
  • 支持經費:20(萬元)
項目摘要
採用微電子技術與微機械加工技術,在矽襯底上設計製作集微溫度感測器、微流量感測器、三溫區微加熱器、微流路溝道及微液流驅動系統於一體的矽晶片,採用靜電封接技術將矽片與玻璃相結合,製成可供生物分析使用的具有特定功能的微全分析系統。研究各單元在設計、工藝製作及相互兼容性的理論及技術,為微全分析系統的開發套用奠定了良好的基礎。

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