《基於邊緣電容效應原理的位移感測器的研究》是依託中國人民解放軍國防科技大學，由李均擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於邊緣電容效應原理的位移感測器的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：李均
- 依託單位：中國人民解放軍國防科技大學
- 批准號：59275236
- 申請代碼：E0511
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1993-01-01 至 1996-12-31
- 支持經費：6（萬元）
中文摘要
在本課題中，我們將測頭極板做得很薄，並將它與被測面垂直放置（在傳統的電容感測器中是平行放置），且保持一定的間隙。根據電磁場理論，若在兩垂直極板間加上一定電壓，那么它們之間就形成一個電場，即邊緣場，它們的電容量與測量間隙成一定的函式關係，只要測出電容量的大小，就可測得微小的間隙的變化情況。經反覆衝壓，燒結，粘結和鍍銀等工藝過程，製成了各種不同性能的測頭，並測得了它們的參數與技術性能間的關係，所此作了孔徑測量實驗。用反卷積法和已知的被測表面可測出測頭的系統函式，同樣又可測出未知被測表面的起伏情況，這樣可提高測量的空間鑑別率.此類感測器可用於高鑑別率、低靈敏度情況下的孔徑，表面光潔度等微位移測量。
